2024年1月申请的半导体结构专利,究竟有何独特之处?

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金融界2025年7月4日传来消息,据国家知识产权局公布的信息,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司以及中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共同提交了一项专利申请,该专利名为“半导体结构的形成方法”,其公开号为CN120261287A,申请时间定于2024年1月。

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专利摘要揭示了半导体结构制备的步骤,具体包括:首先,制备衬底;其次,在衬底上构建硅层;接着,在硅层之上构建金属层;然后,对金属层与硅层实施初次热处理,以生成初步的金属硅化物层;随后,通过初次酸洗去除残留的金属层;紧接着,在初次酸洗完成后,对初步金属硅化物层进行二次酸洗,以清除在生成初步金属硅化物层过程中产生的杂质;最后,在二次酸洗之后,对初步金属硅化物层进行二次热处理,从而形成最终的金属硅化物层。从工艺流程着手,我们避免了人为干预那些难以预料的环保指标,确保了即便在空气过滤器过滤效率各异的情况下,金属硅化物的生长也能保持良好。这一做法打破了现有金属硅化物工艺对杂质污染的敏感性,同时解决了对复杂环境来源难以预防的问题,从而显著提高了产品的合格率。

天眼查的数据显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,这家公司成立于2002年,坐落在北京,主要业务涵盖计算机、通信及其他电子设备制造。其注册资本达到了一亿美元。经天眼查大数据分析邢台市应急管理宣传教育培训中心,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司对外投资了单家企业,参与了52项招投标活动,掌握了5000条专利信息,并且还拥有了226项行政许可。

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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,这家公司诞生于2000年,其总部设于上海市。它主要从事计算机、通信及其他电子设备的制造业务。该企业的注册资本高达244000万美元。借助天眼查进行的大数据分析显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司对外投资涉及4家企业,参与招投标活动达127项,在财产线索方面,拥有商标信息150条,专利信息5000条,并且企业还持有442项行政许可。